随着微电子工业的发展,对空气过滤器特别是高效过滤器的要求越来越严,德国标准DIN24183率先提出"最容易穿透粒径"(Most Penetrating Particle Size,简称MPPS)法,并采用最容易穿透粒径来检测空气过滤器的效率.其实不同的滤料和不同的滤速最容易穿透粒径是不同的,一般在0.11um-0.25um范围内.然后以此粒径测试其效率或用于扫描实验。
MPPS是目前最严格的试验标准,具体测试一般采用DOP方法. DOP(邻苯二甲二辛酯)法:实验尘源为0.3um单分散相DOP液滴,测量粉尘仪器为光度计,以气样的浊度差别来判定过滤器对DOP颗粒的过滤效率.目前逐步采用大流量激光粒子计数器或凝结核计数器对过滤器整个出风面进行扫描检验。
By广州悦鑫
